HORIBA/堀場HF-960M低濃度型HF/HCl/NH3濃度計的產(chǎn)品詳情：

HF-960M 采用的傳感器具有出色的耐腐蝕性，可對低濃度的化學(xué)品進行高精度、高速測量，因此是單槽清洗和晶圓清洗的理想選擇。HF-960M 也是一款環(huán)保產(chǎn)品，使用無鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板。

產(chǎn)品特點：

● 低濃度HF的準(zhǔn)確測量

● 5種可用的測量模式：HF、HCl 和 NH3 濃度、電導(dǎo)率和溫度

● 模擬輸出范圍可以根據(jù)濃度測量范圍任意設(shè)置

● HF-960M提供7個輸出點

● 3通道傳輸輸出

● 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

● 24V直流電源

● 符合CE認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

HORIBA/堀場HF-960M低濃度型HF/HCl/NH3濃度計的產(chǎn)品參數(shù)：

更多產(chǎn)品推薦：

HF/HCl/HF-960H

準(zhǔn)確測量半導(dǎo)體制造和其他工藝中使用的 HF 和 HCl 濃度。專用的 FES-510 系列傳感器具有很強的耐化學(xué)性，使該濃度計成為管理HF和 HCl的理想選擇。

● 測量范圍：0 - 10 %

● 自動顯示測量范圍切換

● 支持四種測量模式：HF 濃度、HCl 濃度、電導(dǎo)率和溫度

● 24V直流電源

● 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

在線傳感器和自動測量范圍切換 HF-960EM

測量從低濃度到未稀釋原液的各種HF濃度范圍。HF-960EM通過自動校正測量范圍切換功能實現(xiàn)高精度測量。同時還具備清潔所有 PFA 傳感器的能力。

● 從低濃度到未稀釋原液的寬測量范圍。量程：0 - 50%

● 通過自動校正測量范圍切換功能實現(xiàn)高精度測量

● 全部使用PFA傳感器，適用于半導(dǎo)體制程

● 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

HE-960H-KOH

KOH 濃度計精度高、測量范圍寬，配備耐化學(xué)腐蝕傳感器 。測量范圍：0 - 20%。

HE-960H-TM-S/高精度TMAH

可準(zhǔn)確測量 TMAH（四甲基氫氧化銨）的濃度。TMAH是半導(dǎo)體制程中光刻膠顯影液的主要成分。配備耐化學(xué)腐蝕的碳傳感器。

● 高精度。重復(fù)性： +/- 0.003% 內(nèi)

● 寬測量范圍

● 濃度：0 - 3%，電導(dǎo)率：0 - 1000 mS/cm

● 自動切換測量范圍顯示

● 支持三類測量：TMAH 濃度、電導(dǎo)率和溫度

● 耐化學(xué)腐蝕碳傳感器

● 24V直流電源

● 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

• CS-620F高溫磷酸濃度計
• CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計